微程式資訊提供的「智慧振動監測解決方案」,為了減少半導體與光電面板製程中,因機台故障停機帶來的巨大損失,我們經由振動感測監控機台的老化現象,能及早發現失效點;若監控過程中發生異常碰撞,將發報於畫面顯示,並與客戶系統介接,上拋即時資料,及早檢知 Wafer受損或玻璃破片。智慧振動監測解決方案能夠運用在各種因振動而導致良率降低或停機的機台,為業者帶來更精準安心的製造作業。

此解決方案已實際應用於半導體與面板機台,客製化開發Machine Fault Discover System與Vibration Monitor for Wafer Scratch(參見上方Demo影片)等各式系統,另也因應各式監測環境與需求,提供多樣設備振動監測模式,各模式特點如下:

模式 特點
振動特徵監測 • 多感測器長期監測設備振動
• 特徵值計算
• 介接客戶系統上報數據
振動學習監測 • 以DI/O與設備介接控制
• 導入學習演算法
• 可減少現場電腦安裝
多功能振動記錄與專家分析 • 支援各型式感測器記錄,使用方式多元
• 提供專家分析軟體、報告產出

我們可以為您解決

  • 即時監控機台異常振動,並提早檢知機台異常
  • 建立振動資料庫,長期監控
  • 提高製程良率與機台稼動率

我們的關鍵優勢

  • 無線通訊量測
  • 3軸向、取樣率 2048Hz、Sensitivity 8192 LSB/g
  • 可應用於Motor、Pump、Slide、Robot等各種設備零組件
  • 多種模式架構可選擇
  • 豐富的半導體/面板業量測經驗

我們可以一起合作

  • 半導體廠前後端製程廠商
  • 光電業製程廠商
  • 需要精準量測振動之設備
我們可以一起合作
智慧診斷預知系統
智慧診斷預知系統
智慧診斷預知系統
智慧診斷預知系統

您可以用在...

  • 所有因振動而導致良率降低或停機之機台(機器手臂、滑軌、馬達...)
  • 半導體廠、光電廠、製程機台等等...

人性化設計與服務

VRS智慧振動感測器

  • 提供電池、供電、外接等各種型式
  • 無線/有線傳輸安裝自由
  • 藍芽傳輸取樣率可達 2048 Hz
  • 運用在自動化監控,可以透過PC或DI/O通訊
  • 可將學習演算法導入感測器,內部運算判斷並輸出

設備振動監測系統

  • 多種架構對應不同客戶需求
  • 提供軟體,使用者免開發
  • 韌體/軟硬體皆為自行開發,可配合客戶需求客製化調整

服務架構

服務架構