MS2202超薄型製程檢測儀

    • 輕薄外型,厚度僅3mm
    • MEMS型振(震)動感測器:3軸感測
    • 表面PEEK材質,耐磨耐酸鹼
    • 採無線傳輸設計,方便使用
    • 即時藍芽傳輸取樣率可達 2048 Hz
    • 至多支援4個感測器同時連線
    • 可標記事件時間戳記並可重複載入
    • 加速度、速度、位移量之OA值(Overall Value)顯示
    • 搭配分析軟體,可顯示波形比較、疊圖分析、STFT、Power Spectrum等資訊
    • 支援統計特徵計算,可存檔便於後續分析報告產出

「超薄型製程檢測儀」用於檢測科技廠自動化產線中,產品運載過程是否出現異常外力干擾或跳動,以數據化檢驗設備製程,採無線設計,其輕薄外型(厚度僅3mm)可隨產品深入製程設備,即時反應感測數值,不必拆機即可量測,有效減少產線設備保養成本與人力,縮短維護流程。可應用於半導體廠、光電面板廠等產業之自動化製程機台。

可應用範圍

  • 半導體或面板自動化製程設備
  • 自動化運送之產線
  • 晶圓或面板機械手臂之乘載

功能規格

項目 規格
感測器體積
Sensor Size
115.5mm * 112.0mm * 3.0mm
Note: Tolerance ±0.1mm
重量
Weight
<60g
藍芽接收器尺寸
Dongle Size
43mm * 19mm * 9.5mm
藍芽接收器重量
Dongle Weight
6g
感測原理
Principle of Sensing
MEMS Accelerometer
振動軸向數
Number of Axes
X,Y,Z – 3Axis G-Sensor
量測通道
Channel
3 (X,Y,Z)
敏感度
Sensitivity
0.061/0.122/0.244 mg/LSB
(16384/8192/4096 LSB/g)
感測範圍
Operating Range
Range. ±2/4/8G
電池
Battery
Up to 8 hours
取樣頻率
Sampling Rate
512Hz ~ 2kHz
頻寬
Bandwidth
5Hz~1kHz
資料傳輸方式
Data Transfer
Bluetooth Low Energy
感測器運作溫度
Sensor Operating Temperature
-20°C ~ +60°C
運作系統
Operating System
Windows 10
安裝固定方式
Fixed Way
Paste
耐久表面材質
Durable Surface Material
Polyetheretherketone (PEEK)
軟體支援
Software
Real-time visual feedback for 1v1~4 BLE and record data in a log file online system (Win 10).