MS2202超薄型製程檢測儀
- 輕薄外型,厚度僅3mm
- MEMS型振(震)動感測器:3軸感測
- 表面PEEK材質,耐磨耐酸鹼
- 採無線傳輸設計,方便使用
- 即時藍芽傳輸取樣率可達 2048 Hz
- 至多支援4個感測器同時連線
- 可標記事件時間戳記並可重複載入
- 加速度、速度、位移量之OA值(Overall Value)顯示
- 搭配分析軟體,可顯示波形比較、疊圖分析、STFT、Power Spectrum等資訊
- 支援統計特徵計算,可存檔便於後續分析報告產出
「超薄型製程檢測儀」用於檢測科技廠自動化產線中,產品運載過程是否出現異常外力干擾或跳動,以數據化檢驗設備製程,採無線設計,其輕薄外型(厚度僅3mm)可隨產品深入製程設備,即時反應感測數值,不必拆機即可量測,有效減少產線設備保養成本與人力,縮短維護流程。可應用於半導體廠、光電面板廠等產業之自動化製程機台。
可應用範圍
- 半導體或面板自動化製程設備
- 自動化運送之產線
- 晶圓或面板機械手臂之乘載
功能規格
項目 | 規格 |
---|---|
感測器體積 Sensor Size |
115.5mm * 112.0mm * 3.0mm Note: Tolerance ±0.1mm |
重量 Weight |
<60g |
藍芽接收器尺寸 Dongle Size |
43mm * 19mm * 9.5mm |
藍芽接收器重量 Dongle Weight |
6g |
感測原理 Principle of Sensing |
MEMS Accelerometer |
振動軸向數 Number of Axes |
X,Y,Z – 3Axis G-Sensor |
量測通道 Channel |
3 (X,Y,Z) |
敏感度 Sensitivity |
0.061/0.122/0.244 mg/LSB (16384/8192/4096 LSB/g) |
感測範圍 Operating Range |
Range. ±2/4/8G |
電池 Battery |
Up to 8 hours |
取樣頻率 Sampling Rate |
512Hz ~ 2kHz |
頻寬 Bandwidth |
5Hz~1kHz |
資料傳輸方式 Data Transfer |
Bluetooth Low Energy |
感測器運作溫度 Sensor Operating Temperature |
-20°C ~ +60°C |
運作系統 Operating System |
Windows 10 |
安裝固定方式 Fixed Way |
Paste |
耐久表面材質 Durable Surface Material |
Polyetheretherketone (PEEK) |
軟體支援 Software |
Real-time visual feedback for 1v1~4 BLE and record data in a log file online system (Win 10). |