VibraSense Smart Blade 解決方案

由於半導體製程屬高度自動化生產，當晶圓送入設備後，即仰賴機械手臂接續搬運作業。為了提高機械手臂的穩定性、達到即時檢知晶圓受損、偵測碰撞干涉等偶發性異常，一般須在設備或機械手臂上安裝感測器進行長期監控，藉此獲知當前的生產狀況或異常發報。

微程式與合作夥伴首創 VibraSense Smart Blade，透過獨家專利設計，將感測器內置於手臂牙叉，有別於外置感測器，可更靈敏的偵測Robot或晶圓的運動狀態，不僅不影響blade外觀尺寸，感測器不外露，亦支援於On-Line同時量測，做到設備異常即時監控，更提供數據蒐集、資料上拋、特徵計算分析軟體、學習演算法等多元服務，協助業者精準掌握振(震)動數據，即時察覺失效點，有效提升製程良率與機台稼動率。