MS2321CSemiSensor - 磁場監測系統
- 多點式磁場監測方式 (1~8)，實現高偵測能力
- 設備故障時無Noise發散
- 強大的分析作業軟體，可結合E-beam LOG分析
- 可分判干擾源方向
在半導體機台製程中，有些設備會因磁力而影響製程或檢測功能 (如Mask Writer、電子束檢測機⋯⋯等)，因此大多會先建立一隔磁室去隔止外部磁力干擾，但建立後就無對週邊環境之磁力監測機制。
我們研發出可持續監控磁力之感測系統， 以供客戶在機台運作中也可以進行長時間監測，避免因外在因素而影響製程良率，並可同時佈置多顆，以得知是由那方向進來之干擾源。
| Items | Controller | Magnetic Sensor |
|---|---|---|
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| Application | Measurement / Monitoring | |
| Size | 360*430*109mm | 50*27*12mm |
| Weight | 10kg | 7g |
| Data Transfer | Ethernet | Wired |
| Extension Length | - | 3m/10m |
| Durable Surface Material |
- | Resin |
| Operating Temp. | 0°C ~ +50°C | 0°C ~ +50°C |
| Power | 110 V or 220 V (adjustable),60 Hz | |
| Sampling Frequency | 2kHz | |
| Principle of Sensing | MEMS | |
| Number of Axes | X, Y, Z – 3Axis Magnetic - Sensor | |
| Sensitivity | 10 nT / LSB (typ.) | |
| Sensing Range | ±1200 μT (max.) | |
| Fixed Way | Stud Mounting / Paste | |
可應用範圍
- Mask Writer
- CD-SEM
- 電子束檢測機