微程式資訊提供的「智慧振動監測解決方案」,為了減少半導體與光電面板製程中,因機台故障停機帶來的巨大損失,我們經由振(震)動感測監控機台的老化現象,能及早發現失效點;若監控過程中發生異常碰撞,將發報於畫面顯示,並與客戶系統介接,上拋即時資料,及早檢知 Wafer受損或玻璃破片。智慧振動監測解決方案能夠運用在各種因振(震)動而導致良率降低或停機的機台,為業者帶來更精準安心的製造作業。

此解決方案已實際應用於半導體與面板機台,客製化開發Machine Fault Discover System與Vibration Monitor for Wafer Scratch(參見上方Demo影片)等各式系統,另也因應各式監測環境與需求,提供多樣設備振(震)動監測模式,各模式特點如下:

模式 特點
振(震)動特徵監測 • 多感測器長期監測設備振(震)動
• 特徵值計算
• 介接客戶系統上報數據
振(震)動學習監測 • 以DI/O與設備介接控制
• 導入學習演算法
• 可減少現場電腦安裝
多功能振(震)動記錄與專家分析 • 支援各型式感測器記錄,使用方式多元
• 提供專家分析軟體、報告產出

 

我們可以為您解決

  • 即時監控機台異常振(震)動,並提早檢知機台異常
  • 建立振(震)動資料庫,長期監控
  • 提高製程良率與機台稼動率

我們的關鍵優勢

  • 無線通訊量測
  • 3軸向、取樣率 2048Hz、Sensitivity 8192 LSB/g
  • 可應用於Motor、Pump、Slide、Robot等各種設備零組件
  • 多種模式架構可選擇
  • 豐富的半導體/面板業量測經驗
 

我們可以一起合作

  • 半導體廠前後端製程廠商
  • 光電業製程廠商
  • 需要精準量測振(震)動之設備
我們可以一起合作
智慧診斷預知系統
智慧診斷預知系統
智慧診斷預知系統
智慧診斷預知系統

您可以用在...

  • 所有因振(震)動而導致良率降低或停機之機台(機器手臂、滑軌、馬達...)
  • 半導體廠、光電廠、製程機台等等...

人性化設計與服務

VRS智慧振動感測器

  • 提供電池、供電、外接等各種型式
  • 無線/有線傳輸安裝自由
  • 藍芽傳輸取樣率可達 2048 Hz
  • 運用在自動化監控,可以透過PC或DI/O通訊
  • 可將學習演算法導入感測器,內部運算判斷並輸出

設備振(震)動監測系統

  • 多種架構對應不同客戶需求
  • 提供軟體,使用者免開發
  • 韌體/軟硬體皆為自行開發,可配合客戶需求客製化調整

服務架構

服務架構